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              發布時間:2020-07-23 11:21  

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              在半導體體行業線寬越做越小,工業高純氮氣,其對氣體純度、顆粒度、雜質含量的要求也越來越高。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。線寬下對超純氮氣的要求,高純氮氣(PN2):系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。(N2):系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質的波紋管閥或球閥。