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              發布時間:2022-05-28 07:11  





              光刻膠的作用

              光刻開始于-種稱作光刻膠的感光性液體的應用。 圖形能被映射到光刻膠上,然后用一個developer就能做出需 要的模板圖案。光刻膠又稱光致抗蝕劑,NR9 3000P光刻膠哪里有,是以智能

              管感光材料,NR9 3000P光刻膠,在光的照射與溶解度發生變化。

              光刻膠成份

              光刻膠通常有三種成分:感光化臺物、基體材料和溶劑。在感光化臺物中有時還包括增感劑。根據光刻膠按照如何響應紫外光的特性可以分為兩類:負性光刻膠和

              正性光刻膠。

              1、負性光刻膠

              主要有聚酸系(聚酯膠)和環化橡膠系兩大類

              2、正性光刻膠

              主要以重氮醒為感光化臺物,以酚醛樹脂為基體材料。正膠的主要優點是分辨率高,NR9 3000P光刻膠多少錢,缺點是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。

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              正性光刻膠的操作工藝

              (1)合成醛樹脂。將原料混和甲醛送人不銹鋼釜,加入適量草酸為催化劑,加熱回流反應5~6h,然后減壓蒸餾去除水及未反應的單體酚,得到醛樹脂。(2)合成感光劑。在裝有攪拌器的夾套反應罐中,先將三羥基二苯甲酮和215酰氯加至中攪拌下溶解,待完全溶解后,滴加有機堿溶液做催化劑,控制反應溫度30~35℃,滴加完畢后,繼續反應1h。將反應液沖至水中,感光劑析出,離心分離,干燥。(3)配膠。將合成的樹脂、感光劑與溶劑及添加劑按一定比例混合配膠,然后調整膠的各項指標使之達到要求。后過濾分裝,光刻膠首先經過板框式過濾器粗濾,然后轉入超凈間(100級)進行超凈過濾,濾膜孔徑0.2mm,經超凈過濾的膠液分裝即為成品。

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              光刻膠成分介紹

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              光刻開始于-種稱作光刻膠的感光性液體的應用。 圖形能被映射到光刻膠上,然后用一個developer就能做出需要的模板圖案。 光刻膠又稱光致抗蝕劑,以智能管感光材料,在光的照射與溶解度發生變化。

              光刻膠成份

              光刻膠通常有三種成分:感光化合物、基體材料和溶劑。在感光化合物中有時還包括增感劑。根據光刻膠按照如何響應紫外光的性可以分為兩類:負性光刻膠和正性光刻膠。

              1、負性光刻膠

              主要有聚酯膠和環化橡膠系兩大類,前者以柯達公司的KPR為代表,后者以OMR系列為代表。

              2、正性光刻膠

              主要以重氮醌為感光化合物,以酚醛樹脂為基體材料。常用的有AZ- 1350系列。正膠的主要優點是分辨率高,缺點是靈敏度、而刻蝕性和附著性等較差。

              光刻膠的特點

              1、在光的照射下溶解速率發生變化,利用曝光區與非曝光區的溶解速率差來實現圖形的轉移;

              2、溶解抑制/溶解促進共同作用;

              3、作用的機理因光刻膠膠類型不同而不同;



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