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近年，在這些規則規模中堅持處理空氣進程，使咱們必需承擔資金和運營本錢。可是為什么值得花費這么多錢用在無塵車間、潔凈室中操控相對濕度呢？道理很簡單，因為相對濕度有一系列可能使潔凈室總體體現下降的因素，其間包含：1、細菌成長；2、工作人員感到室溫舒適的規模；3、出現靜電荷；4、金屬腐蝕；5、水汽冷凝；6、光刻的退貨；7、吸水性。

無塵廠房凈化對空氣的好處：1、負離子氧化，簡單來說，就是增加室內空氣的含氧量，保證進入房間的空氣保持足夠的氧氣，使室內環境充滿活力。2、紫外線消毒，大家都知道紫外線光源的作用是有效地殺滅空氣中的流行病毒和細菌，使大家遠離gan染源，關心自己的健康。3、氧化鈦抗病du藥，設備中的納米二氧化鈦經紫外線活化，在過濾空氣的同時，可有效降解甲醛等有機有毒氣體。

無塵室內該如何防止微粒子污染呢？應遵守下列基本原則：排除/除去，在無法避免大量微粒子發生的機臺中，為了不讓無塵室內產生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是肯定理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。

所謂潔凈度是指潔凈目標——空氣的清洗程度。潔凈度通常用必定體積或必定分量空氣中所含污染物質的巨細、數量或分量來表明。例如，每立方米空氣中，含有大于或等于0.5um的懸浮微粒數有X個，即潔凈度為》0.5um顆粒為X個/立方。又如：每立方米空氣中塵粒的質量為Ymg，其潔凈度為mg/立方表明。因為空氣凈化的意圖與目標不一樣，凈化的內容、辦法和衡量規范也各不相同。從空氣凈化的目標來看，有的是要處理大氣污染的疑問，有的是以無塵車間為目標。大氣污染的凈化主要是各種氣體廢棄物的處理疑問，是以高濃度污染空氣為目標。而各種無塵車間面對的是室內送風的凈化疑問，是以超低污染濃度空氣為目標的。所謂超低污染濃度的空氣，也即是平時以為對比潔凈的空氣。但是對于電子、宇航、高精密機械制造、、某些yi療部分及制藥等一些對出產環境請求嚴厲的技術進程或房間，這種相對對比潔凈的空氣，仍然不符合請求，還需求進一步凈化。