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光波超精密——空氣靜壓導軌生產廠家

導軌的導向精度和幾何精度是衡量直線導軌精度的重要指標。

在這些參數中，導軌間的豎直度平行度以及導軌在平面上的直線度，直接決定了導軌的幾何精度；而導軌的導軌精度又比較復雜，其物理特性、組成結構及工藝材料等都將影響其導軌精度。

直線導軌的直線度一般情況下，導軌直線度的標準用誤差數值表示，即測量單元與理想單元之間的偏差。對理想單位的選擇是非常嚴格的，需要根據規定的zui小條件進行選擇。

光波超精密氣浮導軌廠家——空氣靜壓導軌生產廠家

直線導軌的剛度在機床高速運轉的過程中，導軌因受力而產生變形，導軌會直接發生摩擦與碰撞。因此導軌的平面平整度，導軌的載重能力，導軌材料的選擇及結構布置等均嚴格按照設計規范進行。

直線導軌表面粗糙度導向器表面粗糙度一般是由導向器的硬度和材質所決定的，選擇導向器時應根據實際情況選擇合理的、適用性較強的制造材料，減少影響導向器精度的可能性。

直線導軌結構型式。導向架的安裝布局和導向架本身的結構外形直接影響到機床的各項精度指標。對機床定位和重復定位影響zui直接。

閉式靜壓導軌的特點是：

能承受正、反向載荷，能承受偏載和顛覆力矩的能力較強；

氣膜的剛度較高，因此對于導軌本身結構的剛度要求也較高；

(3)導軌的制作和調整較為復雜；

為降低功率損耗，閉式靜壓導軌一般采用不等面積氣腔結構。

根據安裝特點，氣浮導軌可分為平面封閉式、圓筒封閉式、重力平衡式和真空預載式。

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節流器的選擇和設計是氣浮導軌設計的關鍵。風門型式對氣動導軌承載性能的影響程度決定了工作臺精度和整體承載性能。表中顯示，節流器類型以小孔節流、環面節流和狹縫節流形式應用zui多；多孔質和環面淺腔節流是兩種較新的節流形式，具有承載能力高、穩定性好等優點，但對多孔質節流器而言，其節流特性主要受滲透系數的影響，而滲透系數主要由多孔質材料自身的特性決定，因此，其具體數值難以確定。環面式淺腔節流設計時，淺腔結構的深度一般在十幾微米到幾十微米之間，增加了加工難度，從而限制了此類節流器的應用。剩下的節流形式，在實際中很少使用。

大理石氣浮導軌對材料的要求

大理石氣浮導軌的制作采用了是空氣靜壓zhou軸承技術,因此它具有軸/徑向跳動小、重復定位精度高、加載驅動力小、能在高轉速下平穩工作等特性.為了保證氣浮導軌具備這些性能,在選用制作材料時要求它具有以下特征:

1.導熱性要好,隨時間及空間改變,溫度隨之改變進而造成構件內部的溫度梯度,引起機器結構的扭轉和彎曲;

2.熱膨脹系數要小,避免在溫度-變化下產生過大的伸長縮短;

3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導軌在受力后出現較大的變形;

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4.要有著較高的硬度及耐研磨性,保證在加工及使用中都不會輕易劃傷、磨損;

5.具有較高的強度,在①定的力量范圍內不易斷裂;

6.對于運動部分的材料,在密度上要小,保證由于測量機的高速、高加速運動而產生的測量機慣性力不會造成損傷;

7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級的變形);

8.工藝性好,易于加工,成本要低.

作為超精密測量、超精密加工和半導體光刻等領域的重要應用,花崗石氣浮導軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發揮作用.

鑲鋼導軌是機床上zui常用的導軌形式，其使用已有很長的歷史。鋼質鑲嵌式導軌截面為矩形，是導軌系統的固定部件。可以水平裝裝于床上，也可以與床身鑄成一體，分別稱為鑲鋼式和整體式。鑲鋼導軌是用鋼制成，淬硬并研磨而成。剛度在洛氏硬度60度以上，用螺釘或粘合劑(環氧樹脂)將鑲鋼導軌固定在機床床身或經刮研的柱面上，確保導軌達到zui佳的平面度。該型式，維修更換方便，簡單，深受維修人員的歡迎。

常規導軌的發展，首先表現在滑動部件和導軌形式上，滑動導軌的特點是導軌與滑動件之間采用介質，而不同的形式就在于選用的介質不同。

在運動部件和導軌之間也可采用氣體介質，氣體介質的靜壓力導軌和靜壓力導軌是兩種形式，工作原理與液壓導軌相同。

直線式導向系統使機床能夠獲得快速進給速度，在相同主軸轉速下，直線式導向具有同樣的特點。和平面導軌一樣，直線導軌也有兩個基本部件：一個是作為導向的固定部件，另一個是移動部件。因為直線導軌是標準零件，對于機床制造廠.所做的只是加工一條安裝導軌的平面和校正導軌的平行度。要保證機床精度，床身或少量的刮研是必要的，而且在大多數情況下，安裝也比較簡單。