腐蝕設(shè)備面板加工-茂美加工廠值得信賴

廣州市茂美標(biāo)牌加工廠，座落于番禺區(qū)橋南街陳涌工業(yè)區(qū)，專注于腐蝕面板加工，腐蝕面板定制，機(jī)械控制面板定做，不銹鋼蝕刻面板加工，腐蝕設(shè)備面板加工哪家便宜，機(jī)械面板腐蝕定制，設(shè)備蝕刻面板加工，腐蝕機(jī)械面板定制，機(jī)箱設(shè)備面板定制、電子秤按鍵面板定做等，接單領(lǐng)域主要集中在廣州、深圳 、佛山 、東莞、中山、珠海、江門、肇慶、惠州等地，均可加工定制生產(chǎn)。產(chǎn)品還有腐蝕標(biāo)牌，不銹鋼直尺加工、鋁銘牌制作、不銹鋼銘牌制作、機(jī)械設(shè)備控制面板、亞克力標(biāo)牌等。制作工藝：UV印刷、噴漆、絲印、熱轉(zhuǎn)印、凹凸，沖壓、磨光、拉絲、電鍍、氧化、噴砂、激光、注塑、磨光、電鑄、腐蝕等一體化的大型**標(biāo)牌加工制作廠。

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頂噴式減薄工藝原理和流程工藝原理

設(shè)備采用頂部噴灑方式進(jìn)行蝕刻減薄LCD面板/玻璃基板。通過專用噴頭等噴淋裝置，以近似于霧狀的噴淋方式，將蝕刻藥液均勻的噴灑在蝕刻產(chǎn)品表面。工作過程中被蝕刻的玻璃基板等產(chǎn)品通過特定的匣具（Cassette）垂直固定，通過噴淋裝置從頂部噴灑，并且在蝕刻產(chǎn)品的表面形成瀑布狀蝕刻流，腐蝕設(shè)備面板加工，通過智能自動化PLC電氣控制系統(tǒng)，以及在線監(jiān)控和過濾等輔助系統(tǒng)裝置，實現(xiàn)類同于雙面瀑布流蝕刻的自動化減薄。同時通過形成的瀑布蝕刻流沖刷帶走蝕刻后的反應(yīng)物，避免反應(yīng)物在蝕刻產(chǎn)品表面的沉積和粘附，有效提高蝕刻減薄效率和減薄產(chǎn)品的良率。

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Plasma在干蝕刻中的應(yīng)用在高周波電場中電子被來回加速，加速后的電子轟擊氣體分子或原子，使分子或粒子解離出新的電子(α作用) 而產(chǎn)生Ion，或者使分子解離為高活性的自由基。高活性的自由基會和玻璃基板表面所鍍的薄膜物質(zhì)進(jìn)行反應(yīng)。

因此Plasma被用在半導(dǎo)體，LCD行業(yè)中Etching的工藝中，多用在硅和硅的化合物（SiNx、SiOx 等）的蝕刻工藝，隨著設(shè)備的改進(jìn)，也可用于金屬鋁的蝕刻。

Plasma蝕刻設(shè)備昂貴，但生產(chǎn)過程中耗費的Material非常少， Plasma蝕刻的優(yōu)點在于：蝕刻的精ds確度很好，速度快，腐蝕設(shè)備面板加工廠家，蝕刻均一性好，化學(xué)品消耗低（較酸液蝕刻）。

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清洗區(qū)和蝕刻區(qū)均采用頂部噴灑方式。蝕刻液或純水通過噴淋裝置均勻噴灑在蝕刻產(chǎn)品表面上，并形成密集的瀑布蝕刻流，對蝕刻產(chǎn)品進(jìn)行清洗和雙面瀑布流式蝕刻作業(yè)。噴淋裝置采用特定、獨立噴頭設(shè)計，容易保養(yǎng)更換和維護(hù)。

清洗和蝕刻單元區(qū)域，通過自動化的電氣控制使蝕刻產(chǎn)品在清洗區(qū)和蝕刻區(qū)自動傳輸和切換操作。傳輸裝置采用水封閉的模式，避免設(shè)備液體滲漏，對傳輸和承載裝置等起到有效防護(hù)作用，提高操作的安全性。

（蝕刻單元密封門）

減薄過程中，蝕刻單元通過添加智能模塊設(shè)備，可實現(xiàn)在線濃度和厚度的監(jiān)控，對蝕刻液進(jìn)行自動補(bǔ)液，調(diào)整即時生產(chǎn)參數(shù)，優(yōu)化生產(chǎn)作業(yè)需求。

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實用新型內(nèi)容本實用新型在于提供一種干法刻蝕設(shè)備，能及時檢測到干法刻蝕設(shè)備中的Chamber的真空泄露而保證產(chǎn)品良率。為達(dá)到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的一種干法刻蝕設(shè)備，包括反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔中設(shè)置有顏色傳感器，所述顏色傳感器位于能與所述反應(yīng)腔隔絕的空間中，所述空間通過活動擋板與所述反應(yīng)腔封閉或連通；所述活動擋板連接于外部控制部件，所述控制部件控制所述活動擋板移動，使所述空間與所述反應(yīng)腔保持封閉或連通。優(yōu)選地，所述反應(yīng)腔中還設(shè)置有擋光板；所述擋光板上設(shè)置有槽，所述活動擋板封閉所述槽的槽口 ；所述顏色傳感器位于所述槽與所述活動擋板封閉的空間內(nèi)。優(yōu)選地，所述顏色傳感器為能檢測出所述反應(yīng)腔中氣體變?yōu)榧t色或黃色的傳感器。優(yōu)選地，所述顏色傳感器為對紅色或黃色氣體敏感的傳感器。優(yōu)選地，所述干法刻蝕設(shè)備還包括下部電極，所述下部電極的表面分布有表面浮點；所述表面浮點設(shè)置在玻璃基板上的面板與面板之間的區(qū)域。優(yōu)選地，所述干法刻蝕設(shè)備還包括靜電吸盤，由所述靜電吸盤支撐吸附玻璃基板。優(yōu)選地，所述干法刻蝕設(shè)備還包括背冷卻裝置，所述背冷卻裝置位于所述下部電極下方。

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浸滲原理：浸滲(impregnation)又叫含浸、滲透。通過真空壓力浸滲設(shè)備將其浸滲膠（浸滲劑）充分滲入工件微孔中，填充微孔間隙，有效的防止了工件的泄漏以及腐蝕，從而達(dá)到密封補(bǔ)漏的目的。

　　具體的說，通過浸滲技術(shù)可以；

　　1、防止受壓泄漏，可加收大量的報廢鑄件；

　　2、提高材料強(qiáng)度；

　　3、防止腐蝕；

　　4、提高電鍍和表面油漆裝飾件的質(zhì)量；

　　5、提高金屬零件的切削性能。

　　當(dāng)前國內(nèi)外許多廠家將浸滲技術(shù)被確認(rèn)為一項必不可少的工序。

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