pfeiffer分子泵維修電話愛德華分子泵性能 潽拓光電

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德國 Pfeiffer Vacuum 普發真空

分子泵 Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理

設計/工作原理

普發真空于 1958 年由 W. Becker 博士開發渦輪分子泵并獲 得。渦輪分子泵屬于動能

真空泵的范疇。它們的設計類 似于渦輪機的設計。多級、具有葉盤的渦輪狀轉子在殼體內 旋

轉。渦輪機或壓縮機的葉片被統稱為葉片裝置。轉子盤之 間插入的倒置鏡是具有類似幾何

形狀的葉片定子盤。

軸承

通過兩個球軸承安裝渦輪分子泵轉子軸需要將兩個球軸承都 安排在前真空側，因為軸承中

有潤滑劑。這導致轉子憑借其 較大質量產生的單邊（懸臂）支撐

電動機/驅動器

能夠提供旋轉頻率高達 1,500 Hz (90,000 rpm) 的無刷直流電 動機用于驅動轉子。這使得葉

片速度是泵送氣體所必需的。

如今，驅動器通常都是直接連接到泵上。電源是 24、48 或 72 伏的直流電，通過外部電源

包或集成在泵的電子單元中的 電源包產生電流

廣州潽拓光電——Pfeiffer Hipace80分子泵

分子泵應用一：Hipace 80，Hipace 400 用于分子束外延 MBE，主要針對金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長。

分子泵應用二：Hipace 80，Hipace 300 用于SPECS 近常壓光電子能譜儀設備

渦輪分子泵 Hipace 80 技術參數：分子泵型號接口 DN抽速 l/s壓縮比高啟動壓強mbar極限壓力全轉速氣體流量hPa l/s啟動時間重量進氣口排氣口氮氣

N2氦氣He氫氣 H2氮氣

N2氮氣N2hPa氮氣N2minkgHiPace 806316675848> 1X101122< 1X10–71.31.752.4

分子泵應用：

分析儀器：電子顯微鏡、檢漏、小型質譜、表面分析、殘余氣體分析

半導體：PVD inspection bonding MBE load-locks

工業：醫學技術、工業檢漏、隔離真空、燈管制造

廣州潽拓光電——普發分子泵HiPace 1500C 型號參數_PFEIFFER 普發分子...

德國Pfeiffer真空泵產品特點：

PFEIFFER總公司位于德國ASSLAR，作為真空技術的引*者，普發真空不斷研發、生產性能、運行可靠的真空產品。120多年來，普發真空的產品不斷建立真空技術發展的里程碑。

Pfeiffer產品包括：Pfeiffer干泵、Pfeiffer羅茨泵、Pfeiffer質譜儀、Pfeiffer真空泵，Pfeiffer分子泵，Pfeiffer分子真空泵，Pfeiffer檢漏儀、Pfeiffer真空計、Pfeiffer分子泵組、Pfeiffer羅茨泵組、Pfeiffer檢漏系統、Pfeiffer真空獲得設備、Pfeiffer真空計、Pfeiffer分析儀器、Pfeiffer真空系統等。廣州潽拓光電----PFEIFFERPKR251大型伺服控制系統：伺服是使物體的位置、方位、狀態等輸出被控量能夠跟隨輸入目標（或給定值）的任意變化的自動控制系統。