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發布時間：2021-09-07 20:29
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氦質譜檢漏儀的基本原理與結構
隨著科技的迅猛發展，氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢涮儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業，綜觀較新氦質譜檢漏儀的性能特點發現，氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大的推動了氮質譜檢漏技術的不斷發展。氦質譜檢漏儀的基本原理與結構氦質譜檢漏儀一般由質譜管，真空系統和電子系統組成。真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質分析器，
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。
離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率
真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。耐壓要求：對產品加壓到實驗壓力，保壓一段時間，降到常壓，經檢查無泄漏和異常變形。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管，不會對系統有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產品。
機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環境，干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。
氦質譜檢漏儀的應用拓展二
電力行業
SF6高壓開關和氧化鋅避雷器是發電廠及野外輸變電的重要組成部分，往往因泄漏造成大面積或局部停電，影響工業生產，又妨礙人們的正常生活。因此帶來的經濟損失有時是難以估量的。
1）高壓開關在連箱是鋁鑄件，往往容易有砂眼，且漏孔結構復雜，不易清洗。一般采用檢漏盒或氦罩法，即把被檢件抽真空，然后向罩內充入氦氣，等待一定時間，確定總漏率的大小。因氦氣的用量小，檢測靈敏度就高。
2）氧化鋅避雷器，是根據電壓高低要求，采用不同截面積、不同厚度和不同數量的氧化鋅片，裝在瓷套中，充入氮氣后密封。其工作原理是在高壓輸出中如遇雷擊，氧化鋅片電阻變小，大電流對地短路，輸電線路被保護。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。如果泄漏造成內外沒有壓差，外部潮濕氣體有可能進入，而破壞氧化鋅片特性，造成爆1炸。
3）電力行業中，電廠的檢漏、高壓變壓器、高壓電容器、高壓開關管及其它元器件也都相應的采用氦質譜檢譜檢漏儀，用不同方法進行檢漏。
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氦氣檢漏的主要參數及優勢
1、關鍵零部件全球集優采購，保證了系統的穩定性和可靠性；
2、真空箱內氦氣本底抑零，保證了檢漏的準確性、；
3、特有的清氦系統，快速有效地清除超標的氦本底，保證檢測的穩定性和準確性；
4、實時監測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；
5、可對使用過程中產生的濃度不合格氦氣進行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）；
6、可同時檢測多工件，并能按照需求自動判斷出具體的有漏工件；
7、專業定制的的密封接頭，穩定可靠，減少誤判。
8、觸摸屏實時顯示監測數據和運行參數，監控一目了然。
9、電氣控制系統的連鎖保護及聲光報警功能，確保了系統的操作安全及可靠運行。
今天和大家分享的是氦氣檢漏的主要參數及優勢，希望對您有所幫助！
