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發布時間:2021-10-25 06:50  
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凈化工程——潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決,隨著FFU的不斷改進,對是否采用FFU回風系統也是個熱點:懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業中已日益提到日程上來,受到關注。
凈化工程——潔凈室防靜電
潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質量的一個不可忽視的方面。
所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正( )負<一)電荷等量的均勻的電中性狀態,而使電荷過剩,物體呈帶電狀態,由于這些電荷平時是不流動的,故稱靜電。靜電電引起的靜電電ji,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電ji而摔倒,由摔倒又致傷);凈化工程的安裝時間甲乙雙方合作愉快,一般情況下都能按照規定的時間完成。

凈化車間工程在設計中,每一個設備都考慮一定地位,包括設備本身所占地位,操作地位,設備地位,設備檢修拆裝地位以及設備與設備、設備與建筑物的安全距離。設備布置應考慮為操作工人管理多臺設備或多種設備創造條件,不宜過緊或過松,應盡量對稱緊湊,排列整齊,充分利用空間。設備的自動監測儀表要集中控制,閥門控制盡量集中,便于工人操作。設備能順利進出車間的要求,通過樓層的設備,樓面上要設置吊裝孔。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
凈化車間工程jiao囊劑是將填裝于空心硬質jiao囊中或密封于彈性軟質jiao囊中而制成的固體制劑;
