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發布時間：2021-09-01 18:05
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四種常見的真空鍍膜材料
1.氧化物:一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化鈦TiO2,二氧化鋯ZrO2,二氧化鉿HfO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5，五氧化二鈮Nb2O5，五氧化二鉭Ta2O5,氧化釔Y2O3，氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。
3.其它化合物：硫化鋅ZnS，硒化鋅ZnSe，氮化鈦TiN，碳化硅SiC，鈦酸鑭LaTiO3，鈦酸鋇BaTiO3，鈦酸鍶SrTiO3，鈦酸鐠PrTiO3，等真空鍍膜材料。
4.金屬鍍膜材料：高純鋁Al，高純銅Cu，高純鈦Ti，高純硅Si，高純金Au，高純銀Ag，高純銦In，高純鎂Mg，高純鋅Zn，高純鉑Pt，高純鍺Ge，高純鎳Ni,高純金Au，金鍺合金AuGe，金鎳合金AuNi，鎳鉻合金NiCr，鈦鋁合金TiAl，鋅鋁合金ZnAl，鋁硅合金AlSi等金屬鍍膜材料。
真空鍍膜過程的對于濺射類鍍膜到底多重要？
可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且終沉積在基片表面，經歷成膜過程，終形成薄膜。
濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發鍍膜的不同點在于濺射速率將成為主要參數之一。
濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差(因為是脈沖濺射)，晶向(外沿)生長的控制也比較一般。以pld為例，因素主要有：靶材與基片的晶格匹配程度、鍍膜氛圍(低壓氣體氛圍)、基片溫度、激光器功率、脈沖頻率、濺射時間。
對于不同的濺射材料和基片，參數需要實驗確定，是各不相同的，鍍膜設備的好壞主要在于能否精準控溫，能否保證好的真空度，能否保證好的真空腔清潔度。MBE分子束外沿鍍膜技術，已經比較好的解決了如上所屬的問題，但是基本用于實驗研究，工業生產上比較常用的一體式鍍膜機主要以離子蒸發鍍膜和磁控濺射鍍膜為主。
真空卷繞鍍膜機鍍層之間的結合力
真空卷繞鍍膜機鍍層之間的結合力主要與以下因素有關：
1、真空鍍膜設備底鍍層的種類與性質。一般認為，銅層與多種金屬都具有好的結合力。含鐵量高達30％左右的高鐵鎳鐵合金，在酸銅液中也會產生置換銅層，故不能用于光亮酸銅打底。
2、真空鍍膜機底鍍層的光亮性。真空鍍膜鍍層越是光亮，與其他鍍層的附著力可能越差。
3、真空鍍膜設備底鍍層表面的清潔性。典型的是鍍硫酸鹽光亮酸銅后，往往形成有機膜鈍化層，應作脫膜處理。不要輕信聲稱鍍后無需除膜的酸銅光亮劑的宣傳，而在工藝流程設計時不考慮除膜工序。
因為即使新配液時可以不脫膜，隨著亮銅液中有機雜質的積累或加入的光亮劑比例失調時，也會產生憎水的有機膜層。眾所周知，聚乙二醇幾乎是所有酸銅光亮劑中不可缺少的組分，而鍍層中聚乙二醇的夾附量越大，越容易生成憎水膜層。
4、真空鍍膜機底鍍層的鈍化性。越易鈍化的鍍層，其上鍍層的結合力越差。鎳是易鈍化金屬，鍍鎳過程中斷電對間稍長，鎳鍍層在鍍鎳液中會發生化學鈍化；
若未能有效避免雙性電極現象(詳見第四講)；則作為陽極部分的工件局部更會發生嚴重的電化學鈍化，在鍍多縣鎳時特別應注意。鉻比鎳更易鈍化，所以鉻上鍍鉻必須有良好的活化。
鉻上鍍鉻的情況也不少，如：裝飾性套鉻一次深鍍能力差時作二次套鉻；為兼顧抗蝕性與耐磨性，在乳白鉻(基本無裂紋)上鍍硬鉻；鉬及鉬合金電鍍要求用鍍鉻打底等。
