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光波超精密——機床三坐標氣浮導軌

閉式靜壓導軌的特點是：

能承受正、反向載荷，能承受偏載和顛覆力矩的能力較強；

氣膜的剛度較高，因此對于導軌本身結構的剛度要求也較高；

(3)導軌的制作和調整較為復雜；

為降低功率損耗，閉式靜壓導軌一般采用不等面積氣腔結構。

根據安裝特點，氣浮導軌可分為平面封閉式、圓筒封閉式、重力平衡式和真空預載式。

光波超精密空氣導軌——機床三坐標氣浮導軌

節流器的選擇和設計是氣浮導軌設計的關鍵。風門型式對氣動導軌承載性能的影響程度決定了工作臺精度和整體承載性能。表中顯示，節流器類型以小孔節流、環面節流和狹縫節流形式應用zui多；多孔質和環面淺腔節流是兩種較新的節流形式，具有承載能力高、穩定性好等優點，但對多孔質節流器而言，其節流特性主要受滲透系數的影響，而滲透系數主要由多孔質材料自身的特性決定，因此，其具體數值難以確定。環面式淺腔節流設計時，淺腔結構的深度一般在十幾微米到幾十微米之間，增加了加工難度，從而限制了此類節流器的應用。剩下的節流形式，在實際中很少使用。

根據工作原理，將氣浮導軌分為兩種基本類型：氣動壓力導軌和空氣靜壓導軌。動壓力型如左下圖所示，兩面相對運動，間隙呈楔形，沿運動方向逐漸減小。氣體在楔形間隙內相對運動，由于氣體的粘滯作用，被拖帶壓下，形成動壓懸浮。

靜壓力形式如右下圖所示，是通過節流孔將外部壓縮氣體注入到氣隙中，借助于其靜壓力使之懸浮

如圖所示，節流孔的作用是在間隙改變時，調節間隙內的壓力，因此導軌有剛度?？諝飧⊥矊к壥怯蓪к壓突褰M成的滑動副，滑動片之間是氣膜潤滑。

光波超精密空氣導軌——機床三坐標氣浮導軌

開式靜壓導軌在左上角為平坦型，右上角為平坦型，左下角為雙三角型，右下角為平坦型轉折，具有以下特征：

(1)承受正載荷的能力很大，承受偏載和顛覆力的能力較差，無法承受反向載荷；

(2)導向器結構簡單，易于制造和調整；

當導軌尺寸確定后，氣室壓力僅取決于載荷，因此載荷較小時，氣膜剛度較低

總之，開式靜壓導軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場合。

閉式靜壓導軌的運動部件，除了在其運動方向上有一個自由度外，其它運動自由度均受導軌結構的限制，故屬于幾何閉合。