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發布時間:2022-09-08 03:07  





(7)在亞微米級集成電路生產中,要求提供10-9級高純氣體。為了保證結束氣體處理設備的氣體純度,應提高氣體中的雜質含量(包含塵粒)控制在規定值內,一般在設備前設置終端凈化設備或終端高精度氣體過濾器。每種氣體都有自身的能量,有的是對人們有利的,高純氧氣廠,但有的氣體確是對人們有害的,平常看的電視劇電影,諜戰的那種,很多里面都會有這些風險氣體,可見,東西都要用對當地,這樣才干發揮作用,那么高純氦氣是怎么樣的一種氣體呢?關于它的注意事項又是什么呢?

-180℃時0.729g/cm3液體熱膨脹系數,高純氧氣,-180℃時0.007531/℃表面張力,-210℃時12.2×10-3N/m,12.2dyn/cm氣體密度,101.325kPa(atm)和70oF(21.1℃)時1.160kg/m3,0.0724lb/ft3氣體相對密度。101.325kPa(1atm)和70oF時(空氣=1)0.967汽化熱,沸點下202.76kJ/kg,高純氧氣99.99%,87.19BTU/1b熔化熱,熔點下25.7kJ/kg,11.05BTU/1b氣體定壓比熱容cp,25℃時1.038kJ/(kg·k)0.248BTU/(1b·R)氣體定容比熱容cp,25℃時0.741kJ/(kg·k),0.177BTU/(1b·R)氣體比熱容比,cp/cv1.401液體比熱容,-183℃時2.13kJ/(kg·k),0.509BTU/(1b·R)因體比熱容,高純氧氣標準,-223℃時1.489kJ/(kg·k)

氦氣是一種無色、無嗅、無味的惰性氣體,分子量4.00,在21.1℃和101.33kPa下氣體比重為0.138,沸點為-268.9℃,氣體密度0.165kg/m3(21.1℃、101.33kPa)。臨界溫度-267.9℃;臨界壓力227kPa;臨界密度69.64kg/m3;在沸點溫度和101.33kPa下液體密度。氦氣不可燃、無毒、微溶于水,是一種簡單的窒息劑,可以氣態或液態裝運。


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