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半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。另外，摩擦?xí)斐沙晒纳仙托氏陆担瑫r局部會有溫升，因此工藝參數(shù)對轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個關(guān)鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對這兩種應(yīng)用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因?yàn)檩p型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。愛德華70#真空泵油特性：真空泵油具的氧化穩(wěn)定性，長期在高溫條件下與空氣、樹脂、化學(xué)原料等直接接觸亦不易變質(zhì)，減少有害漆膜和油垢的形成，提供較長的換油周期。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運(yùn)行時間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)超高真空。通過延長使用壽命、提高正常運(yùn)行時間、增加產(chǎn)量，使其擁有了可靠的高性能，同時又具有占地面積小，擁有成本低等優(yōu)點(diǎn)。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險并延長 維修間隔。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

真空泵泵體振動大的原因有哪些?

水環(huán)變化：若水環(huán)內(nèi)徑變大(供水不足所致)，則葉片頂端將與水環(huán)內(nèi)壁發(fā)生碰撞，產(chǎn)生振動。Edward愛德華EH1200羅茨泵維修保養(yǎng)漏氣，有點(diǎn)卡死EH1200是德國Edward愛德華EH系列羅茨泵，這款泵是比較大的，羅茨泵不能單獨(dú)使用，一般是可以搭配螺桿泵或者旋片泵使用。若水環(huán)內(nèi)徑變小(供水過量所致)，其對葉輪的擾流及阻力損失增加，引發(fā)振動，同時增加泵的功耗。上海真空泵工作中，一定要保證合適的工作水供水量，若進(jìn)水管發(fā)生結(jié)垢及堵塞現(xiàn)象。只憑進(jìn)水壓力不能準(zhǔn)確衡量進(jìn)水供應(yīng)情況，一般可通過觀察上海真空泵的排水量來判斷水環(huán)的工作情況。

在真空泵機(jī)組定期一切換過程中，多次發(fā)生過類似異常。愛德華真空泵油產(chǎn)品描述：原裝進(jìn)口愛德華UL-19UL-70低蒸汽壓真空泵油產(chǎn)品描述：原裝進(jìn)口愛德華UL-19UL-70低蒸汽壓真空泵油是從油蒸餾和完善的產(chǎn)品。在備用真空泵機(jī)組啟動、原運(yùn)行泵停運(yùn)后。凝汽器真空便開始緩慢下降，約15~30min后可下降5~6kPa，在此過程中，發(fā)現(xiàn)氣水分離器內(nèi)處于負(fù)壓狀態(tài)，這是一種異常現(xiàn)象。好凱德真空科技分析認(rèn)為，真空泵機(jī)組工作不正常，導(dǎo)致噴射器抽吸力降低，使得凝汽器真空下滑。