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真空泵維修方法制備有機功能薄膜的技術

莫爾定律講的是硅片上的元件密度,這是描述大規模集成電路進行信息加工能力的參量,按照IBM公司1994年發表的特殊報告講到的關于奇妙的芯片:元件的尺寸越小,芯片的功能越大。

信息存儲密度106bit／cm2，可存下一篇30頁;108bit／cm2,能存300頁的書10本;1010bit／cm2,存1000本書;1012bit／cm2,存10萬本書,對于一塊3.5＂磁盤可存入500萬本書是可能的。這幾乎是我國目前省級圖書館的全部藏書。由這個估算可見存儲密度的提高,其芯片的功能是極其驚人的。這只是量變的推算,應該考慮到量變到質變產生的功能飛躍。

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    真空泵在真空泵維修中的作用

有機復合信息存儲薄膜研究取得的成果說明真空技術在未來的納米電子器件的研究中仍占有極其重要的地位。目前超高真空的獲得和測量技術已經成熟，但更廣泛的應用，

特別是為發展未來信息社會的關鍵技術一納米電子器件中，真空技術的應用還是非常有吸引力的課題，大量的工作有待開發。在即將到來的21世紀，真空技術將隨著納米電子學進入信息社會的各個領域，發揮越來越大的作用。

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真空泵維修原理和機械泵的參數

機械泵的分類：機械泵有很多種，常用的有滑閥式(此主要應用于大型設備)、活塞往復式、定片式和旋片式(此目前應用廣泛，本文主要介紹)四種類型。

機械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數有極限真空，抽氣速率，此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空，雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕，甚至更高。

抽氣速率，是指旋片泵按額定轉數運轉時，單位時間內所能排出氣體的體積，可以用下公式計算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截面積，L表示空腔長度，系數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程，Vs表示當轉子處于水平位置的時候，吸氣結束，此時空腔內的體積，轉速為n。

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