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發布時間:2020-12-21 06:16  
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從加工方法的機理、特點和傳統來分類,精密和超精密加工又可分為傳統加工、非傳統加工和復合加工。傳統加工是指刀具切削加工、固結磨料和游離磨料的磨削加工;非傳統加工是指利用電能、磁能、聲能、光能、化學能和核能等對材料進行加工和處理;復合加工是采用多種加工方法的復合作用,進行優勢互補,相輔相成。從加工方法的機理、特點和傳統來分類,精密和超精密加工又可分為傳統加工、非傳統加工和復合加工。當前,在制造業中,占主要地位的仍是傳統加工方法。 在加工精度的量級上,精密加工是指加工精度為1~0.1?μm,表面粗糙度為0.1~0.025μm的加工技術,超精密加工是指加工精度高于0.1?μm,表面粗糙度小于0.025?μm的加工技術。目前超精密加工已進入納米級精度階段,故出現了納米加工及其相應的技術。
由于超精密加工的精度等級和表面質量都很高,因此,一定要有相應的檢測手段,才能驗證工件是否達到了相應的技術要求。在精密超精密加工和測量中,對測量技術提出了更為嚴格的要求,即要求測量誤差比加工誤差高一個數量級。1981年美國IBM公司研制成功的掃描隧道顯微鏡(STM),將人們帶到了微觀世界。目前,超精密測量儀正向高分辨力、高準確度和高可靠性的方向發展。公司發展了分辨率均可以達到1?nm的測量元件;美國HP、zygo、英國Taylor等公司的測量儀器均可以滿足納米測量的需求。