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凈化車間隔間分為三大部分

凈化車間隔間分為三大部分，更衣室，天津芯片廠費用，千級區和百級區，更衣室與千級區，千級區和百級區均設風淋室(airshower)，天津芯片廠，凈化車間與室外設有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進入凈化車間時，首先要經過風淋室，對人體所帶的灰塵吹淋，減少人員帶入凈化車間的灰塵.傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋，達到落塵的效果。千級區過濾器采用HEPA，過濾效率99.997%，百級區過濾器采用ULPA，天津芯片廠哪家好，過濾效率99.9995%。

無塵車間含微粒數少于一定數量要求

無塵車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。無塵車間室內空氣經處理后，所含微粒數少于一定數量要求，一般分十萬級、萬級、千級等，即室內每立方米空間的微粒數不大于十萬、一萬、一千個……。目前，無塵車間已經在電子、光學、精密儀器、注塑等行業里廣泛使用。

潔凈室（區）內設置真空泵時，應符合下列規定：1．電子工廠裝修對于傳輸、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產工藝設備操作系統聯鎖。2．對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過下限的20%時，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統前應去除或稀釋可燃氣體組分。3．使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統。

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