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發布時間:2021-01-08 22:48  
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非標定制各種真空腔體
1.腔體常規材質:不銹鋼304,可定制不銹鋼316、316L腔體,弧焊接,表面特殊工藝,拋光處理,外表美觀,
2.按ISO9001質量管理體系組織設計、加工、裝調、檢驗、包裝、運輸;
3.提供該設備的技術檢測報告;
4. 腔體設有快開進樣門,鉸鏈機構,移動靈活,快開門密封件材質采用氟橡膠;
5. 法蘭接口、腔體大小根據客戶需求定制;
6. 腔室內外徹底超聲波清洗,表面清潔;
6. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
8. 配合適的真空系統,真空度可進入10-6Pa;
9. 供貨周期:確認方案后5到6周;
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長方形一體成型腔室
超高真空(UHV)是一門精密技術的藝術,各種鍍膜、檢測分析、量測、及其他實驗皆可根據需求整合在一個或多個的超高真空(UHV)腔體(箱體),或以超高真空傳輸系統進行鏈接,Htc日揚真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經驗及技術。我們根據不同的實驗需求對超高真空(UHV)腔體(箱體)進行精密的設計,能滿足配合客戶實驗上的各種質量及性能要求。
1. 腔體常規材質:不銹鋼304,可定制不銹鋼316、316L腔體;
2. 腔體可根據需求設有快開進樣門,鉸鏈機構,移動靈活,快開門密封件材質采用氟橡膠;
3. 法蘭接口、腔體大小根據客戶需求定制;
4. 腔室內外徹底超聲波清洗,表面清潔;
5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
6. 配合適的真空系統,真空度可進入10-6Pa;
7. 供貨周期:確認方案后5到6周;
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沈陽鵬程真空腔體制造技術
提供專用設備腔的定制服務,腔體的外形和開口可以根據用戶要求進行設計。
表面分析腔有通用腔體,用戶也可以在通用腔體的基礎上進行自定義設計。
手套箱和焊接箱專用于熔煉或焊接鈦、鋅等對易在大氣中氧化的材料。
真空密封頸是基板和鐘形罩之間的過渡組件,它可以提供額外的高度和更多的自由端口。
裝載鎖定室是建在主腔體上的特別制作小腔體,可在不破壞主腔體真空度的條件下,將樣本、晶片或其他組件從外部大氣環境移動到內部高真空環境中。
真空腔體中抽氣管道的設計原則
為一個工藝選擇真空泵時,工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達到大,需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。
看起來似乎很簡單,但是這里有許多因素需要考慮。實際上,如果我們從物理學角度考慮,就可以明確哪些是關鍵因素。真空腔體
在穩定狀態的條件下,如果抽氣管道內沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝),抽氣管道任何截面的質量流量必須相同。簡單而言,進入工藝室的氣體必須從泵出來。
已知氣體摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、溫度為T(開爾文),則質量流量計算如下:
質量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)
Ro=通用氣體常數
對于大多數抽氣系統而言,氣體溫度(T)在抽氣管道中不會顯著減少,而且可以合理地假定為恒定的。
在此情況下,抽氣管道任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體
由于抽氣管道的壓力差是氣體流動的推動力,可見壓力(P)必須在工藝室中為高值,在泵入口為低值。
由于我們假定通量恒定,可見抽氣速率(S)在工藝室為小值,在泵入口為大值(等于泵速)。