貴州聚焦離子束刻蝕機價格價格合理,北京創世威納

離子束刻蝕機的原理

創世威納——專業離子束刻蝕機供應商，我們為您帶來以下信息。

利用輝光放電原理將ya氣分解為ya離子，ya離子經過陽極電場的加速對樣品表面進行物理轟擊，以達到刻蝕的作用。把Ar氣充入離子源放電室并使其電離形成等離子體，然后由柵極將離子呈束狀引出并加速，具有一定能量的離子束進入工作室，射向固體表面轟擊固體表面原子，使材料原子發生濺射，達到刻蝕目的，屬純物理刻蝕。

離子束刻蝕機的應用

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應用先進的離子束濺射和離子束刻蝕工藝,將應變電橋直接制作在金屬測壓膜片上。由于不用傳統的膠粘工藝，顯著改善了應變式傳感器的長期穩定性及抗蠕變特性,使產品使用的溫度范圍大為擴展。由于沒有活動部件，抗振動和抗沖的能力很強，可用于惡劣的環境。

離子束刻蝕

離子束刻蝕技術是近年來發展起來的一種微細加工技術，它利用反應離子束轟擊團體表面時發生的濺射效應和化學反應剝離加工工作上的幾何圖形。具有極高的分辨率，能夠控制槽深和槽壁角度，表面應力小。反應離子束刻蝕技術已有效地用于研究和制造大規模和超大規模集成電路，聲表面波器件，磁泡存儲器，微波器件，集成光路，超導器件，閃爍光柵等。