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發布時間：2021-06-14 05:25
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氦質譜檢漏儀檢漏方式
1、示蹤氣體A放在容器里面，處于正壓，然后用氦質譜檢漏儀去檢測，容器外圍是否有氣體A，如果容器外有氣體A，則容器有漏。用這種方式能檢測出漏點，并能大概判斷泄漏的程度。這種檢漏方式叫Sniffer檢漏或正壓檢漏。
2、示蹤氣體A噴在容器外面，用氦質譜檢漏儀去檢測容器里面是否有氣體A。這種方式能檢測出漏點，并能測知漏率。這種檢漏方式叫真空檢漏。
如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環境有很大關系，盡量做到與檢測對象的工作狀態一致。如檢測對象工作時內部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內部處于負壓，則用真空模式。
氦質譜檢漏儀的特點
氦質譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質譜儀，是只檢測氦的質譜儀，這種質譜儀將其它質量數的氣體都屏蔽掉了。氦質譜檢漏儀要想正常工作，需要真空環境。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動才體現為分子流，氦質譜檢漏儀才能穩定正常工作。
氦質譜檢漏儀的日常保養與維護
1 內部的泄漏
當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。
2 本底信號不穩定
1）本底信號過高有可能是環境本底被污染，注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風，降低環境本底。
2）本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時，質譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩定，檢查電源電壓是否穩定，檢漏儀盡量應有可靠的接地。
3）本底信號不穩定，檢查泵油是否渾濁，被污染。
3 設備的分子泵不啟動
分子泵不啟動，主要有檢查供電和前級真空是否正常（較常見的是前級真空機械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動）。或者是分子泵本身因振動和粉塵污染造成的損壞。
4 設備的質譜室不能正常工作
質譜室主要是燈絲無法正常加電，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態后，若燈絲仍無法發射離子流，則需要更換離子源。
5 前級機械泵工作不正常
主要經常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會使油色變黑，水汽會使油色呈現乳白色，都將導致機械泵工作不正常。另外過低的溫度會使機械泵油粘稠度增加無法啟動，過高的溫度也會使機械泵產生熱保停止工作，使用機械泵的環境溫度盡量在 10至 40之間使用。
氦質譜檢漏儀的不同測量方法滿足多種需求
氦質譜檢漏儀中氦質譜檢漏系統的關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。秀長的體積，優越的性能，適用于眾多行業。運用了氦質譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術，實現了自動氦峰掃描、自動調零、自動校準和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。
氦質譜檢漏儀特點：
1.檢測時間和響應周期非常短，可以達到2s以內；
2.檢測的介質比較常用，僅需壓縮空氣即可；
3.多種大漏保護模式，充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊；
4.大漏檢測功能：可通過預設壓力，抽空時，達不到預設值，檢漏儀自動報警提示。
5.多種計量單位選擇，檢測數據實時更新，直接輸出生成Excel表格。
