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發布時間:2023-04-12 04:19  





超純水的水質直接關系到半導體成品率
在半導體生產中,超純水可用于晶圓漂洗、化學稀釋、化學機械研磨、潔凈室環境的加濕源等。超純水的質量直接關系到半導體的成品率,隨著半導體元件尺寸的縮小和細度的提高,對超純水質量的技術要求也在不斷提高。
在超純水生產過程中,唐山edi超純水設備,只要微粒子、電阻率和TOC與氣泡中的某一指標稍有差異,就會使半導體元件生產的合格率下降。

超純水設備出水符合芯片生產用水需求 在芯片生產中,幾乎每一道工序都需要超純水清洗,工件與水直接接觸。一旦水質不達標或水中含有雜質,就會降低設備性能,降低產量。確保超純水的質量是我國自主研發芯片的重要基礎。傳統的超純水生產工藝采用陰離子樹脂交換設備。這種工藝的缺點是樹脂在使用一段時間后會頻繁地再生,增加成本。隨著膜分離技術的不斷成熟,萊特萊德采用反滲透工藝,或反滲透后再采用EDI和拋光混床工藝生產超純水,出水電導率可達18.2MΩ,滿足芯片行業用水需求。隨著芯片制造工藝中對設計的需求更小,對純水水質的要求也越來越嚴格。萊特萊德芯片超純水設備能在一定程度上去除水中的二氧化硅、顆粒、細菌、有機物和微生物,edi超純水設備廠,從而達到行業用水要求。

導致超純水水質惡化的原因有哪些?設計 清洗過程中,edi超純水設備廠家,平底水箱中的水不能排出。無法排凈的水是細菌生長的溫床。因此,edi純水設備,我們建議使用錐形底部的水箱以便排空所有水。水箱應通過吹塑成型,以防止凹凸不平的表面為細菌的生長和繁殖提溫床?! 》峙洹 ×己玫姆峙浔脩B續工作10小時也不會造成溫度升高,避免為細菌生長提供條件。消毒 即使是微生物的繁殖也會形成生物膜,降低水質。因此,安裝能夠抑制細菌生長的消毒模塊(紫外線燈)非常重要。


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