真空退火爐采購常用解決方案“本信息長期有效”

退火爐

湘潭華宇電爐制造有限公司是各類工業電爐的專業生產廠家，公司湘潭華宇電爐制造有限公司積數十年開發生產工業電爐成套設備的經驗，擁有雄厚的技術力量及非標設備的設計、制造能力，產品用戶遍布全國各地。近幾年積累了豐富的不銹鋼結構件的加工經驗，具有較強的不銹鋼結構件的加工能力。

退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的?？梢约訜峋該诫s劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。

退火爐特點

1、材料整個退火工藝過程都置于保護氣氛中，經退火的工件表面光亮無氧化，材料表面不脫碳氧化。

　　2、由于爐內保護氣由風機強對流循環，爐溫均勻，使爐內溫差控制在5℃以內；從而有效保證爐內所有退火材料軟硬一致，便于材料深加工。

　　3、采用雙爐座升溫、冷卻，準連續作業模式。爐體結構科學合理，節能效果明顯，噸鋼能耗低國內。單爐裝容達90噸，生產。

　　4、經該型爐處理的材料表面光亮，免除酸洗工藝，潔凈工作環境，消除了酸污染。

　　5、整套設備全部微機控制，自動化程度高，能有效保證產品質量和設備安全運行。

　　適用范圍：1、黑色金屬鋼帶、鋼絲、鋼管件中間和成品光亮退火。2、有色金屬銅帶、銅絲、銅管、銅棒中間和成品光亮退火。3、標準件、鏈條、機械零部件等散件光亮退火。

真空退火爐主要結構形式

主要結構形式：該爐主要由爐罩、爐罩驅動機構、節能型全纖維耐火爐襯、高溫高輻射電熱元件、軟密緊機構、爐臺、爐臺導電電極箱、智能PID溫度程序控制系統等主要部分組成。5.1．爐罩殼體：主要采用國標型鋼骨架及鋼板焊接而成，保證了爐子的密封性能及足夠的剛強度，且所有焊縫均勻平滑，無氣孔、夾雜、未熔合等缺陷，爐殼外觀平直、美觀。爐殼外電熱元件引出棒集中分布，并外設防護罩。

退火爐的結構特點

結構特點： 加熱室采用不銹鋼骨架，隔熱屏為多層石墨氈，使用壽命長，易維護。采用石墨管加熱器，易安裝維護，故障率低。氣冷系統有大功率高速電機、大風量高壓葉輪、蝸殼及導流板、銅管銅串片換熱器和導流裝置等組成，可實現氣流有換熱器-風機-導流裝置-工件-換熱器的高速循環，以使工件得到快速均勻的冷卻。加熱室也可以采用全金屬結構。電控系統采用PLC與可編程溫度控制器的方式，實現全自動、半自動、手動三種控制方式，操作靈活。