愛德華真空泵公司萊寶真空泵油「在線咨詢」

愛德華真空泵維修經過長期工作后經常會出現(xiàn)的問題就是漏油，關于這個問題怎么維修呢？我們要先了解出現(xiàn)故障的原因：1.真空系統(tǒng)或進氣管路讀書或泄露

2.真空泵油被污染或變質

3.排氣過濾器堵塞

4.進氣過濾器或進氣濾網堵塞

5.吸氣閥被污物卡死

6.進氣或排氣管道過長或管徑太小

7.油管泄漏或損壞

8.密封圈或軸封泄漏

9.排氣閥損壞或卡死

10.葉片卡死或損壞

11.轉子和泵體的間隙不對

12.真空泵內部零件損壞愛德華E2M80真空泵

化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。目前開發(fā)的產品通過將控制器集成到泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制電纜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用工程師之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會產生 大量粉末副產品。所有居于地位的制程工具OEM，以及全球每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因為它們能夠滿足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。 對于幾乎所有產生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應力下保持 旋轉。

冷凝

半導體 制程的某些副產品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變?yōu)楣滔唷Ｔ诒盟瓦@些副產品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。愛德華iH系列真空泵維修EdwardiHseriesvacuumpumprepair維修型號：iH80、iH600、iH1000等愛德華是半導體和平板顯示器工藝方面的供應商，集工藝實現(xiàn)技術，材料和服務于一體。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，您需要確保可以 將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設上 達到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。

愛德華真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

Edward真空泵油概述：  提供一系列新型油：Ultragrade? 15、19、20 和 70，均采用制程生產。惠州市明勝機電設備有限公司制造銷售各種真空泵，并提各類真空泵維修保養(yǎng)服務（羅茨，螺桿，旋片式，干式，水環(huán)式等真空泵維修保養(yǎng)）以及各類進口真空泵配件耗材。大多數制造商都采用溶劑精煉制程，而這些油則采用獨特的濕法處理制程生產。這一制程不會產生氮、硫、氧和芳香烴類，因此可得到無任何雜質的清潔基料。

加入添加劑后，Ultragrade? 油可改善真空性能、熱穩(wěn)定性和氧化穩(wěn)定性，不易生銹。干泵選擇CVD制程通常需要通過選擇適當的干泵產品來克服四個特定挑戰(zhàn)。油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，從而延長換油時間間隔。特性與優(yōu)勢： 加入添加劑后，Ultragrade? 油可改善真空性能、熱穩(wěn)定性和氧化穩(wěn)定性，不易生銹。

油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，從而延長換油時間間隔。

這些油所具備的以上特性使其適用于多種應用。

真空泵泵體振動大的原因有哪些?

水環(huán)變化：若水環(huán)內徑變大(供水不足所致)，則葉片頂端將與水環(huán)內壁發(fā)生碰撞，產生振動。若水環(huán)內徑變小(供水過量所致)，其對葉輪的擾流及阻力損失增加，引發(fā)振動，同時增加泵的功耗。該礦物油中的預先處理過的，和它的組合物的方式是將適合的應用程序的決定性因素。上海真空泵工作中，一定要保證合適的工作水供水量，若進水管發(fā)生結垢及堵塞現(xiàn)象。只憑進水壓力不能準確衡量進水供應情況，一般可通過觀察上海真空泵的排水量來判斷水環(huán)的工作情況。