愛德華干式真空泵信賴推薦「明勝機電」

EDWARD E2M80 愛德華真空泵維修

  惠州市明勝真空設備有限公司www.hzmszk.com真空泵維修服務：公司擁有一支強大、專業維修進口真空泵技術隊伍，特別精通于普旭(博世)BUSCH，萊寶Leybold，偉力Rietschle（里其樂），Becker貝克，EDWARD愛德華，ULVAC愛發科等進口真空泵的維修與保養服務，歡迎廣大業界人士來電來函，我們將竭誠為您提供免費的技術指導與全套滿意的維修服務支持。適用于研發實驗室的實驗室真空系統我們提供豐富多樣的真空產品，以應對當今研發實驗室所面臨的種種挑戰。

鍍膜機真空泵機組E2M275 EH1200

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英國Edward愛德華真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣

而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維

持真空的裝置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體

傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。

半導體加工我們繼續革新技術解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉時間、產量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環境的排放、延長產品使用壽命并降低持續服務成本，努力協調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統，因為它們能夠滿足成熟制程與發展中制程的具體要求。原裝進口愛德華真空泵油新品，全國包郵Edwards愛德華真空泵油，真空泵油可改善真空泵性能、耐磨性和抗高溫性好，泵油使用后不容易乳化與積炭，從而延長換油的時間間隔。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統等各種系統，用來優化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導體 制程中的一個關鍵步驟。雖然傳統甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環境，但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應對這兩種應用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因為輕型 EUV 系統 提供極短的波長。這些泵結構緊湊，使用時非常安靜，具備先進的潤滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應用需求。要讓您的系統具有 性能，真空環境是關鍵。真空系統的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發了 精密真空系統，可為您進行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統的精密性 和長正常運行時間至關重要。

我們的產品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現超高真空。五、羅茲泵EDWARDS在全球早推出高抽速的羅茨泵，其抽氣率從240m3／h到4500m3／h，極限真空10-3mbar。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉子以降低艙室污染風險并延長 維修間隔。目前開發的產品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。