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長方形一體成型腔室

超高真空(UHV)是一門精密技術的藝術，各種鍍膜、檢測分析、量測、及其他實驗皆可根據需求整合在一個或多個的超高真空(UHV)腔體(箱體)，訂制真空腔體多少錢，或以超高真空傳輸系統(tǒng)進行鏈接，Htc日揚真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經驗及技術。我們根據不同的實驗需求對超高真空(UHV)腔體(箱體)進行精密的設計，能滿足配合客戶實驗上的各種質量及性能要求。

1. 腔體常規(guī)材質：不銹鋼304，可定制不銹鋼316、316L腔體；

2. 腔體可根據需求設有快開進樣門，鉸鏈機構，移動靈活，快開門密封件材質采用氟橡膠；

3. 法蘭接口、腔體大小根據客戶需求定制；

4. 腔室內外超聲波清洗，表面清潔；

5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;

6. 配合適的真空系統(tǒng)，真空度可進入10-6Pa；

7. 供貨周期：確認方案后5到6周；

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真空腔體的主要作用

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真空腔體是保持內部為真空狀態(tài)的容器，真空腔體的制作要考慮容積、材質和形狀。不銹鋼是目前超高真空系統(tǒng)的主要結構材料。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%——20%的低碳鋼，具有優(yōu)良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、能夠在-270——900℃工作等優(yōu)點，在高真空和超高真空系統(tǒng)中，應用廣泛。

沈陽鵬程真空腔體制造技術

提供設備腔的定制服務，腔體的外形和開口可以根據用戶要求進行設計。

表面分析腔有通用腔體，訂制真空腔體，用戶也可以在通用腔體的基礎上進行自定義設計。

手套箱和焊接箱于熔煉或焊接鈦、鋅等對易在大氣中氧化的材料。

真空密封頸是基板和鐘形罩之間的過渡組件，它可以提供額外的高度和更多的自由端口。

裝載鎖定室是建在主腔體上的特別制作小腔體，可在不破壞主腔體真空度的條件下，將樣本、晶片或其他組件從外部大氣環(huán)境移動到內部高真空環(huán)境中。

表面分析腔有通用腔體，用戶也可以在通用腔體的基礎上進行自定義設計。

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