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              發(fā)布時(shí)間:2021-10-12 12:58  

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              主動(dòng)式掃描與多點(diǎn)觸測(cè)式測(cè)頭系統(tǒng)

              掃描測(cè)量率高達(dá)500點(diǎn)/秒。

              數(shù)據(jù)采集測(cè)力可調(diào)(50-1000mN)

              ZEISS VAST XT gold:探針:長(zhǎng)度=500mm,重量=500g(含吸盤),探針直徑=0.5mm。

              ZEISS VAST gold:探針:=800mm,重=600g(含吸盤),探針直徑=0.3mm。

              ZEISS VAST XTR gold:探針:長(zhǎng)度(固定)=500mm,長(zhǎng)度(旋轉(zhuǎn))=350mm,重量=500g(含吸盤),探針直徑=0.5mm。






              ZEISS RDS-D動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)測(cè)座,可選配光學(xué)與接觸式測(cè)頭系統(tǒng)。

              采用側(cè)面旋轉(zhuǎn)技術(shù)的動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)測(cè)座于兩個(gè)方向均可實(shí)現(xiàn)±180°旋轉(zhuǎn),步距角2.5°,

              空間旋轉(zhuǎn)位置可達(dá)20736個(gè)。采用CAA技術(shù),極大的節(jié)約了探針校準(zhǔn)與檢測(cè)時(shí)間。

              適用于ZEISS RDS-D的掃描與多點(diǎn)觸測(cè)式測(cè)頭系統(tǒng)。掃描測(cè)量率達(dá)150點(diǎn)/秒

              使用TL3模塊時(shí),探針長(zhǎng)度 = 30-150 mm;長(zhǎng)加長(zhǎng)桿 = 100 mm;

              大探針重量 = 15 g;小探針直徑 = 0.3 mm.







              ZEISS DotScan

              測(cè)量范圍 1 mm 2)

              配備共聚焦白光測(cè)距傳感器,適用于ZEISS RDS-DCAA

              掃描測(cè)量速率高達(dá)1000點(diǎn)/秒。

              工作距離:10,5mm ,分辨率28nm

              可測(cè)量平面與光束夾角范圍90°± 30°1) 光斑直徑 8 μm

              測(cè)量范圍 3 mm 2)

              工作距離:21,5mm ,分辨率36nm,

              可測(cè)量平面與光束夾角范圍90°± 24° 1) 光斑直徑 9 μm




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