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真空腔體——真空度的分類

真空腔體可以按照真空度進行分類，包括粗或低真空度(< 760，非標(biāo)定制真空腔體哪家好， > 1 torr)，中真空度(< 1，非標(biāo)定制真空腔體價格， >10-3 torr)，高真空度(< 10-3， >10-8 torr)，超高真空度(< 10-8 torr)，以及非真空的高壓力 (> 760 torr)。真空腔的寬度和外徑等常規(guī)尺寸是非常重要的參數(shù)。標(biāo)準(zhǔn)鐘形罩或柱形腔體的可選直徑是12英寸，14英寸，18英寸和24英寸。

真空腔體或者真空組件的可選項包括法蘭、裝配形式、表面拋光或電拋光、開口或傳導(dǎo)口，加熱器和冷卻方式等。

真空腔體中抽氣管道的設(shè)計原則

為一個工藝選擇真空泵時，非標(biāo)定制真空腔體，工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達到大，需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。

看起來似乎很簡單，但是這里有許多因素需要考慮。實際上，如果我們從物理學(xué)角度考慮，就可以明確哪些是關(guān)鍵因素。真空腔體

在穩(wěn)定狀態(tài)的條件下，如果抽氣管道內(nèi)沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝)，抽氣管道任何截面的質(zhì)量流量必須相同。簡單而言，進入工藝室的氣體必須從泵出來。

已知氣體摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、溫度為T(開爾文)，則質(zhì)量流量計算如下：

質(zhì)量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)

Ro=通用氣體常數(shù)

對于大多數(shù)抽氣系統(tǒng)而言，氣體溫度(T)在抽氣管道中不會顯著減少，而且可以合理地假定為恒定的。

在此情況下，抽氣管道任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體

由于抽氣管道的壓力差是氣體流動的推動力，可見壓力(P)必須在工藝室中為高值，非標(biāo)定制真空腔體廠，在泵入口為低值。

由于我們假定通量恒定，可見抽氣速率(S)在工藝室為小值，在泵入口為大值(等于泵速)。

非標(biāo)定制各種真空腔體

1.腔體常規(guī)材質(zhì)：不銹鋼304，可定制不銹鋼316、316L腔體，弧焊接，表面特殊工藝，拋光處理，外表美觀，

2.按ISO9001質(zhì)量管理體系組織設(shè)計、加工、裝調(diào)、檢驗、包裝、運輸；

3.提供該設(shè)備的技術(shù)檢測報告；

4. 腔體設(shè)有快開進樣門，鉸鏈機構(gòu)，移動靈活，快開門密封件材質(zhì)采用氟橡膠；

5. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶需求定制；

6. 腔室內(nèi)外超聲波清洗，表面清潔；

6. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;

8. 配合適的真空系統(tǒng)，真空度可進入10-6Pa；

9. 供貨周期：確認方案后5到6周；

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