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電子束結構介紹

粒子增速器的結構可以與顯像管類比。顯像管中的電子對應于增速器的電子或離子源，顯像管中加速電子用的高壓電極對應于增速器中的高壓加速電極及加速腔。顯像管中控制電子運動的電偏轉板與聚焦電子的聚焦線圈，對應于增速器中控制粒子運動軌道和聚焦粒子束流的多種電磁部件，mbe分子束外延設備哪家好，如導向磁鐵、聚焦磁鐵、多極校正磁鐵等。對粒子增速器的粒子運行管道來說，mbe分子束外延設備，為了減少粒子在運動中與殘余氣體碰撞而造成粒子的丟失和束流性能變壞，所要求的真空度比顯像管要高數千到數萬倍。隨著科學技術的不斷發展，根據科學家對粒子能量和流強的不同要求，陸續產生了不同原理、不同結構的多種增速器。

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電子束蒸發鍍膜機是由哪些部分組成的？

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設備組成：

設備由薄膜沉積室、真空獲得系統、真空測量系統、電子束蒸發系統、水冷卻循環系統、膜厚監測及控制系統、安全保護系統組成。

作用：電子束蒸鍍常用來制備Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，mbe分子束外延設備廠家，抗腐蝕和耐高溫氧化膜。

電子束蒸鍍系統的特點

* 渦輪分子泵，mbe分子束外延設備價格，串接機械泵或干泵

* pocket電子

* 電子束源和基片遮板

* 性能好的開關電源，杰出的消弧性能

* 自動Pocket索引以及可編程的掃描控制器

* 膜厚監測，可設置目標膜厚作為工藝終點條件

* 旋轉樣品臺，提供高均勻性

* 帶觀察視窗的腔門，便于放片/取片

* PC全自動控制，具有高度的可重復性

* Labview軟件的計算機全自動工藝控制控

* 多級密碼保護的授權訪問設計

* EMO保護以及完全的安全聯鎖

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