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              NR7 6000P光刻膠-北京賽米萊德

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              發(fā)布時(shí)間:2022-05-19 03:09  





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              5,顯影液

              在已經(jīng)曝光的硅襯底膠面噴淋顯影液,或?qū)⑵浣菰陲@影液中,正膠是曝光區(qū)、而負(fù)膠是非曝光區(qū)的膠膜溶入顯影液,膠膜中的潛影顯現(xiàn)出來(lái),形成三維圖像。



              顯影完成后通常進(jìn)行工藝線的顯影檢驗(yàn),通常是在顯微鏡下觀察顯影效果,顯影是否、光刻膠圖形是否完好。

              影響顯影的效果主要因素:

              1,曝光時(shí)間,2前烘溫度和時(shí)間,3光刻膠膜厚,4顯影液濃度溫度,5顯影液的攪動(dòng)情況。





              NR9-3000PYNR7 6000P光刻膠

              光刻膠底膜處理:清洗:清潔干燥,使硅片與光刻膠良好的接觸。烘干:去除襯底表面的水汽,使其干燥,NR7 6000P光刻膠,增粘處理(涂底) 涂上增加光刻膠與硅片表面附著能力的化合物,HMDS,光刻膠疏水,NR7 6000P光刻膠哪里有,Sio2 空氣中,Si-OH, 表面有,親水性,使用HMDS H2C6Si2NH 涂覆,熏蒸  SI –OH結(jié)合形成Si-O-Si(CH2)2,與光刻膠相親。


              正負(fù)光刻膠

              光刻膠分負(fù)性膠和正性膠兩類。光照后形成不可溶物質(zhì)的是負(fù)性膠;反之,對(duì)某些溶劑是不可溶的,經(jīng)光照后變成可溶物質(zhì)的即為正性膠。正膠的圖像與掩模板的圖像是一致的,故此叫正膠,利用這種性能,將光刻膠作涂層,就能在硅片表面刻蝕所需的電路圖形。

              一般來(lái)說(shuō)線寬的用正膠,NR7 6000P光刻膠哪家好,線窄的用負(fù)膠! 正性光刻膠比負(fù)性的精度要高,負(fù)膠顯影后圖形有漲縮,負(fù)性膠限制在2~3μm.,而正性膠的分辨力優(yōu)于0.5μm 導(dǎo)致影響精度,正性膠則無(wú)這方面的影響。雖然使用更薄的膠層厚度可以改善負(fù)性膠的分辨率,但是薄負(fù)性膠會(huì)影響孔。同種厚度的正負(fù)膠,在對(duì)于抗?jié)穹ê透g性方面負(fù)膠更勝一籌,正膠難以企及。賽米萊德提供美國(guó)Futurrex的光刻膠的供應(yīng)與技術(shù)參數(shù)。


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