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發布時間:2022-05-23 03:10  





6,堅膜
堅膜也叫后烘,是為了去除由于顯影液的浸泡引起膠膜軟化、溶脹現象,能使膠膜附著能力增強,康腐蝕能力提高。
堅膜溫度通常情況高于前烘和曝光后烘烤的溫度 100-140度 10-30min
7,NR94 8000PY光刻膠價格,顯影檢驗
光刻膠鉆蝕、圖像尺寸變化、套刻對準不良、光刻膠膜損傷、線條是否齊、陡
小孔、小島。
NR9-3000PY 相對于其他光刻膠具有如下優勢: - 優異的分辨率性能 - 快速地顯影 - 可以通過調節曝光能量很容易地調節倒梯形側壁的角度 - 耐受溫度100℃ - 室溫儲存保質期長達3 年

五、曝光
在這一步中,將使用特定波長的光對覆蓋襯底的光刻膠進行選擇性地照射。光刻膠中的感光劑會發生光化學反應,從而使正光刻膠被照射區域(感光區域)、負光刻膠未被照射的區域(非感光區)化學成分發生變化。這些化學成分發生變化的區域,在下一步的能夠溶解于特定的顯影液中。
在接受光照后,正性光刻膠中的感光劑DQ會發生光化學反應,變為乙烯酮,NR94 8000PY光刻膠公司,并進一步水解為茚并羧酸(Indene-Carboxylic-Acid, CA),羧酸在堿性溶劑中的溶解度比未感光部分的光刻膠高出約100倍,產生的羧酸同時還會促進酚醛樹脂的溶解。利用感光與未感光光刻膠對堿性溶劑的不同溶解度,就可以進行掩膜圖形的轉移。
曝光方法:
a、接觸式曝光(Contact Printing)掩膜板直接與光刻膠層接觸。
b、接近式曝光(Proximity Printing)掩膜板與光刻膠層的略微分開,大約為10~50μm。
c、投影式曝光(Projection Printing)。在掩膜板與光刻膠之間使用透鏡聚集光實現曝光。
d、步進式曝光(Stepper)

光刻膠市場
我國光刻膠市場規模2015年已達51.7億元,同比增長11%,高于國際市場增速,但占比仍不足15%,發展空間巨大。2015年我國光刻膠產量為9.75萬噸,而需求量為10.12萬噸,依照需求量及產量增速預計,未來仍將保持供不應求的局面。據智研咨詢估計,得益于我國平面顯示和半導體產業的發展,我國光刻膠市場需求,NR94 8000PY光刻膠,在2022年可能突破27.2萬噸。在光刻膠生產種類上,我國光刻膠廠商主要生產PCB光刻膠,而LCD光刻膠和半導體光刻膠生產規模較小,相關光刻膠主要依賴進口。放眼國際市場,光刻膠也主要被美國Futurrex 的光刻膠、日本合成橡膠(JSR)、東京應化(TOK)、住友化學、美國杜邦、德國巴斯夫等化工寡頭壟斷。

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