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發布時間:2022-06-11 05:10  





光刻膠國內的研發起步較晚
光刻膠的研發,關鍵在于其成分復雜、工藝技術難以掌握。光刻膠主要成分有高分子樹脂、色漿、單體、感光引發劑、溶劑以及添加劑,NR27 25000P光刻膠廠家,開發所涉及的技術難題眾多,需從低聚物結構設計和篩選、合成工藝的確定和優化、活性單體的篩選和控制、色漿細度控制和穩定、產品配方設計和優化、產品生產工藝優化和穩定、終使用條件匹配和寬容度調整等方面進行調整。因此,要自主研發生產,技術難度非常之高。
在光刻膠研發上,我國起步晚,2000年后才開始重視。近幾年,雖說有了快速發展,但整體還處于起步階段。事實上,工藝技術水平與國外企業有著很大的差距,尤其是材料及設備都仍依賴進口。
美國Futurrex的光刻膠
北京賽米萊德貿易有限公司供應美國Futurrex新型lift-off光刻膠NR9-3000PY,此款負膠的設計適用于比較寬的波長范圍和i線(366納米)曝光工具。當顯影后顯示出負的側壁角度,NR27 25000P光刻膠哪家好,是lift-off工藝中比較簡易的光刻膠。和其他膠相比NR9i-3000PY有下面的優勢: 1. 比較高的光刻速度,可以定制光刻速度來曝光產量 2. 比較高的分辨率和快的顯影時間 3. 根據曝光能量可以比較容易的調整側壁角度 4. 耐溫可以達到100攝氏度 5. 用RR5去膠液可以很容易的去膠 NR9-3000PY的制作和工藝是根據職業和環境的安全而設計。主要的溶劑是,NR9-3000PY的顯影在水溶液里完成。屬固含量(%):31-35 主要溶劑: 外觀: 淺液體涂敷能:均勻的無條紋涂敷 100攝氏度熱板烘烤300秒后膜厚涂敷自旋速度 40秒自旋。


光刻膠底膜處理:清洗:清潔干燥,NR27 25000P光刻膠哪里有,使硅片與光刻膠良好的接觸。烘干:去除襯底表面的水汽,使其干燥,增粘處理(涂底): 涂上增加光刻膠與硅片表面附著能力的化合物,HMDS,NR27 25000P光刻膠,光刻膠疏水,Sio2 空氣中,Si-OH, 表面有,親水性,使用HMDS (H2C)6Si2NH 涂覆,熏蒸 與 SI –OH結合形成Si-O-Si(CH2)2,與光刻膠相親。

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