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發布時間:2021-09-12 08:18  
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光刻膠趨勢
半導體光刻膠領域全球市場規模趨于穩定, 2017年全球市場約13.5億美元;國內市場約20.2億元,近5年復合增速達12%。受全球半導體市場復蘇和國內承接產業轉移,預計全球光刻膠市場將保持穩定增速,國內市占率穩步抬升。
光刻膠生產、檢測、評價的設備價格昂貴,需要一定前期資本投入;光刻膠企業通常運營成本較高,下游廠商認證采購時間較長,為在設備、研發和技術服務上取得競爭優勢,需要足夠的中后期資金支持。企業持續發展也需投入較大的資金,光刻膠行業在資金上存在較高的壁壘,國外光刻膠廠商相對于國內廠商,其公司規模更大,具有資金和技術優勢。國家重點支持的高新技術領域(2015)中提到“高分辨率光刻膠及配套化學品作為精細化學品重要組成部分,是重點發展的新材料技術”。
總體上,光刻膠行業得到國家層面上的政策支持。《國家集成電路產業發展推進綱要》,提出“研發光刻機、刻蝕機、離子注入機等關鍵設備,開發光刻膠、大尺英寸硅片等關鍵材料”;7億元,同比增長11%,高于國際市場增速,但全球占比仍不足15%,發展空間巨大。國家重點支持的高新技術領域(2015)中提到“高分辨率光刻膠及配套化學品作為精細化學品重要組成部分,是重點發展的新材料技術”;光刻技術(包括光刻膠)是《中國制造 2025》重點領域。
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4,曝光
前烘好的存底放在光刻膠襯底放在光刻機上,經與光刻版對準后,進行曝光,接受光照的光刻膠發生化學變化,形成潛影,
光源與光刻膠相匹配,也就是光源波長在光刻膠的敏感波段;
對準:指光刻板上與襯底的對版標記應準確對準,這樣一套光刻版各版之間的圖形才能彼此套準。
曝光時間,由光源強度,光刻膠種類,厚度等決定,
另外,為降低駐波效應影響,可在曝光后需進行烘焙,稱為光后烘焙(PEB)
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光刻膠穩定性
化學穩定性:在正常儲存和操作條件下,在密閉容器中室溫穩定。
避免的條件: 火源、濕氣、過熱的環境。
不相容的其他材料: 強氧化劑。
光刻膠毒理資料
淡黃色液體,氣味微弱。引起皮膚、眼睛、粘膜和呼吸道的刺激。可以通過皮膚吸收而引起全身性的癥狀。液體是可燃的。
毒性數據
皮膚:可以通過皮膚吸收而引起全身性的癥狀,類似于吸入。長時間或重復接觸可引起輕度至中度的刺激或皮炎。
眼睛:引起眼睛發炎。
吸入:吸入時可能有害。引起呼吸道刺激。蒸氣可能導致困倦和頭暈。
攝食:吞食有害。
延遲效應:肝和損害,以及動物實驗中有報道血液和GU髓有影響。
光刻膠
光刻膠組分及功能
光引發劑
光引發劑吸收光能(輻射能)后經激發生成活性中間體,并進一步引發聚合反應或其他化學反應,是光刻膠的關鍵組分,對光刻膠的感光度、分辨率等起決定性作用。
樹脂
光刻膠的基本骨架,是其中占比較大的組分,主要決定曝光后光刻膠的基本性能,包括硬度、柔韌性、附著力、曝光前后對溶劑溶解度的變化程度、光學性能、耐老化性、耐蝕刻性、熱穩定性等。
溶劑
溶解各組分,是后續聚合反應的介質,另外可調節成膜。
單體
含有可聚合官能團的小分子,也稱之為活性稀釋劑,一般參加光固化反應,可降低光固化體系粘度并調節光固化材料的各種性能。






