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氦氣在空氣中含量非常少，只有5ppm（空氣中占約1/200，000）；在被測試的物體內部所殘留的空氣中的氦氣含量也非常少；由于氦分子量小、分子直徑小（在元素周期表中在僅排在氫的后面），即便是極其微小的滲漏孔也能方便地通過；由于具有化學上的不活躍性，不會污染排氣系統及被測試物體， 由于具有對人體無害性和不可燃爆性，因此使用安全方便； 對分析管的分辨率要求并不高，容易實現高靈敏度；不存在環境污染問題。氦質譜檢漏儀在壓力容器中的常用方法：在壓力容器中，使用氦質譜檢漏儀檢漏常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負壓法），吸法（正壓法），氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些。但是當檢漏儀安裝在大型的、比較復雜的壓力容器裝置上時，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。

在許多科學領域和制造業中，氦質譜檢漏儀已成為控制和監督產品質量的裝備。尤其近幾年來，電工電子產品的監督檢驗部門和生產廠家，制冷、汽車、航空、航天等行業強化“以質量求生存”的意識，他們在將氦質譜檢漏儀用于生產線和科研應用的同時，不斷探索其在本行業的應用開發并積累了很多經驗。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質比分離，這門研究使不同質量的粒子在電磁場中運動并依質荷比進行分離的學科稱為質譜學。根據質譜學原理制成的儀器叫質譜儀。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種，將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。 噴氦法是常用，方便的檢漏方法。檢漏時，鋰電池氦檢設備廠家，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內的氦分壓就會上升，氦質譜檢漏儀上就會顯示有泄漏率。是否合格要看標準漏率值是定在多少，超過標準漏率值的可視為不合格。

氦質譜檢漏儀為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質比分離，這門研究使不同質量的粒子在電磁場中運動并依質荷比進行分離的學科稱為質譜學。根據質譜學原理制成的儀器叫質譜儀。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種，將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。 氦質譜檢漏儀檢漏也是無損檢測（X射線、渦流、超聲等）的多種方法中的一種，是壓力容器無損檢測的佳形式。廣泛應用于航天、航空、、電子零部件、真空設備、電真空、電力、石化、半導體前道、空調制冷等新技術的領域。

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