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發(fā)布時(shí)間:2022-02-25 05:04  





真空壓力法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高,檢漏儀設(shè)備,能實(shí)現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測(cè),檢漏儀,反映被檢件的真實(shí)泄漏狀態(tài)。真空壓力法的缺點(diǎn)是檢漏系統(tǒng)復(fù)雜,需要根據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設(shè)計(jì)真空密封室。這里需要說(shuō)明在檢漏過(guò)程要求確保充氣管道接口無(wú)泄漏,或者采取特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)將所有充氣管道連接接口放置在真空密封室外部。背壓法氦質(zhì)譜檢漏:采用背壓法檢漏時(shí),首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中,浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天,如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔,氦氣便通過(guò)漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中,使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品,將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi),被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會(huì)通過(guò)漏孔泄漏到真空容器,再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測(cè)量。檢漏儀給出的漏率值為測(cè)量漏率,需要通過(guò)換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。 氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏也是無(wú)損檢測(cè)(X射線、渦流、超聲等)的多種方法中的一種,是壓力容器無(wú)損檢測(cè)的佳形式。廣泛應(yīng)用于航天、航空、、電子零部件、真空設(shè)備、電真空、電力、石化、半導(dǎo)體前道、空調(diào)制冷等新技術(shù)的領(lǐng)域。

檢漏的基本任務(wù)靠采取一些標(biāo)準(zhǔn)檢漏技術(shù)來(lái)完成,而采用哪種技術(shù)要根據(jù)被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來(lái)決定。近年來(lái)由于電子工業(yè)的發(fā)展,空間探索活動(dòng)的增加,檢漏技術(shù)得到了快速發(fā)展,它的重要標(biāo)志是將以氦為示蹤氣體的氦質(zhì)譜檢漏儀已快速地進(jìn)入了各個(gè)適用的領(lǐng)域。氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力測(cè)量原理,實(shí)現(xiàn)被檢件的氦泄漏量測(cè)量。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時(shí),示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會(huì)從漏孔泄出,泄漏出來(lái)的氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后,由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識(shí)別能力,僅給出氣體中的氦氣分壓力信號(hào)值。在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上,通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)漏孔比對(duì)的方法就可以獲得漏孔對(duì)氦泄漏量。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),電子檢漏儀,形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。

氦氣在空氣中含量非常少,只有5ppm(空氣中占約1/200,000);在被測(cè)試的物體內(nèi)部所殘留的空氣中的氦氣含量也非常少;由于氦分子量小、分子直徑小(在元素周期表中在僅排在氫的后面),即便是極其微小的滲漏孔也能方便地通過(guò);由于具有化學(xué)上的不活躍性,不會(huì)污染排氣系統(tǒng)及被測(cè)試物體, 由于具有對(duì)人體無(wú)害性和不可燃爆性,因此使用安全方便; 對(duì)分析管的分辨率要求并不高,容易實(shí)現(xiàn)高靈敏度;不存在環(huán)境污染問(wèn)題。氦質(zhì)譜檢漏儀在壓力容器中的常用方法:在壓力容器中,使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏常用的方法大體可分為三種,即噴氦法(負(fù)壓法),吸法(正壓法),氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言,噴氦法的靈敏度高些。但是當(dāng)檢漏儀安裝在大型的、比較復(fù)雜的壓力容器裝置上時(shí),也不敢確切地說(shuō)噴氦法的靈敏度就是高。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。


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