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發布時間:2022-02-19 05:02  





質譜室里的燈絲發射出來的電子,在室內來回地振蕩,并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進人磁場。由于洛倫茲力作用產生偏轉,形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質比分離,這門研究使不同質量的粒子在電磁場中運動并依質荷比進行分離的學科稱為質譜學。根據質譜學原理制成的儀器叫質譜儀。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種,將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力作用下,流進或流出這個空間,如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產不能進行,或者產生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,進口檢漏儀,氧氣瓶,空調冰箱的雪種容器等等),要求在容器內外存在壓差的情況下,檢漏儀,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至會釀成事故。這些對密封性有要求的產品或設備,在投入使用前,就要先進行檢漏,使用過程中也要定期利用氦質譜檢漏儀進行檢漏檢查。

背壓法的優點是檢測靈敏度高,能實現小型密封容器產品的泄漏檢測,可以進行批量化檢測。背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,導致加壓時間太長。此外,每個測量漏率都對應兩個等效標準漏率,在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢,排除大漏的可能。氦質譜檢漏儀是根據質譜分析原理,以氦為示蹤氣體,對真空設備和密封器件的漏隙進行定位或定量、定性測量的完整系統。我們知道氣體在電子的轟擊下會產生帶電粒子,帶電粒子在電場的作用下獲得能量做加速動力,而在磁場的作用下將做圓周運動,而具有不同質荷比的離子其運動半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質比分離,這門研究使不同質量的粒子在電磁場中運動并依質荷比進行分離的學科稱為質譜學。根據質譜學原理制成的儀器叫質譜儀。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種,將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。

為什么要檢漏?泄漏和密封相對應很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進或流出這個空間。如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,氦檢漏儀報價,否則生產不能進行,或者產生次品,浪費人力物力。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣,可以實現漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來,在罩內充滿一定濃度的氦氣,可以實現被檢產品總漏率的測量。質譜室里的燈絲發射出來的電子,氦質譜檢漏設備報價,在室內來回地振蕩,并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進人磁場。由于洛倫茲力作用產生偏轉,形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。


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