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背壓法的優點是檢測靈敏度高，能實現小型密封容器產品的泄漏檢測，可以進行批量化檢測。背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導致加壓時間太長。此外，每個測量漏率都對應兩個等效標準漏率，在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢，排除大漏的可能。氦質譜檢漏儀是根據質譜分析原理，以氦為示蹤氣體，對真空設備和密封器件的漏隙進行定位或定量、定性測量的完整系統。我們知道氣體在電子的轟擊下會產生帶電粒子，帶電粒子在電場的作用下獲得能量做加速動力，而在磁場的作用下將做圓周運動，而具有不同質荷比的離子其運動半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質比分離，這門研究使不同質量的粒子在電磁場中運動并依質荷比進行分離的學科稱為質譜學。根據質譜學原理制成的儀器叫質譜儀。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種，將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。

另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。 氦氣在空氣中含量非常少，只有5ppm（空氣中占約1/200，000）；在被測試的物體內部所殘留的空氣中的氦氣含量也非常少；由于氦分子量小、分子直徑小（在元素周期表中在僅排在氫的后面），即便是極其微小的滲漏孔也能方便地通過；由于具有化學上的不活躍性，不會污染排氣系統及被測試物體， 由于具有對人體無害性和不可燃爆性，因此使用安全方便； 對分析管的分辨率要求并不高，容易實現高靈敏度；不存在環境污染問題。為什么要檢漏？泄漏和密封相對應很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。

真空法氦質譜檢漏：采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。氦質譜檢漏儀在壓力容器中的常用方法：在壓力容器中，使用氦質譜檢漏儀檢漏常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負壓法），吸法（正壓法），氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，鋰電氦檢專機廠家，噴氦法的靈敏度高些。但是當檢漏儀安裝在大型的、比較復雜的壓力容器裝置上時，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。部件-分子泵，采用*檢漏儀用的分子泵。 美國AD放大器，有效降低了檢漏儀本身的噪音，提高了檢漏儀的靈敏度。 180度非均勻磁場的質譜室設計，對焦準確，靈敏度高。 檢漏口耐壓高，可檢漏率量程寬，大漏小漏全可檢。 離子源燈絲采用氧化釔銥金燈絲，壽命長、靈敏度高。 檢漏狀態下的三屏切換，信息更豐富，檢漏更方便。 具有快速清氦功能和快速響應功能。檢漏狀態一鍵清零。 全自動液晶觸摸彩屏顯示，實現了智能自動化，操作方便、簡單可靠。 中英文菜單。

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