真空箱氦檢漏系統維修承諾守信「多圖」

雙工位氦檢漏系統構成

（1）粗抽機組：一般采用旋片泵或者滑閥泵作為粗抽真空使用，獲得從一個大氣壓到千帕級真空，并為后續精抽真空作準備。

（2）精抽機組：一般采用羅茨泵作為精抽真空使用，獲得檢漏要求的真空，一般為5Pa左右。

（3）檢漏儀：是檢漏系統中的部件，檢漏儀執行檢漏工作時，給出工件泄露量大小，并判斷工件是否合格，輸出控制信號。

（4）耐壓測試單元：通過向工件內充注高壓氣體，一方面測試工件的耐壓性能。另一方面通過平衡、保壓過程，有傳感器感測壓力差，并由控制系統經過計算分析判斷是否有大漏。

（5）工件抽空單元：為保證氦氣有循環過程中氦氣的純度，在向工件充注氦氣之前，抽出工件內的空氣。

關于真空檢漏

漏孔的氣流特性

氣體流經漏孔的過程是很復雜的，可能包含有粘滯流、過渡流及分子流三種流動狀態。主導流動狀態與漏孔的幾何尺寸、氣體的種類、漏孔兩端的壓力及環境溫度有關。設環境溫度T=296K，入口壓力p2=1.01×105Pa，出口壓力p1《p2，漏孔長L，直徑d的均勻圓截面導管型漏孔，其對空氣的漏率及可視流動狀態

檢漏方法的分類

檢漏方法很多，根據被檢件所處的狀態可分為充壓檢漏法、真空檢漏法及其它檢漏法。

充壓檢漏法：在被檢件內部充入一定壓力的示漏物質，如果被檢件上有漏孔，示漏物質便從漏孔漏出，用一定的方法或儀器在被檢件外部檢測出從漏孔漏出的示漏物質，從而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充壓檢漏法。

真空檢漏法：被檢件和檢漏器的敏感元件處于真空狀態，在被檢件的外部施加示漏物質，如果有漏孔，示漏物質就會通過漏孔進入被檢件和敏感元件的空間，由敏感元件檢測出示漏物質，從而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，這就是真空檢漏法。

其它檢漏法：被檢件既不充壓也不抽真空，或其外部受壓等方法歸入其它檢漏法。背壓法就是其中主要方法之一。

所謂“背壓檢漏法”是利用背壓室先將示漏氣體由漏孔充入被檢件，然后在真空狀態下使示漏氣體再從被檢件中漏出．以某種方法(或檢漏儀)檢測漏出的示漏氣體，判定被檢件的總漏率的方法。

為了方便說明真空檢漏方法，我們以真空爐為例進行真空檢漏。真空爐主要由機械泵、羅茨泵、擴散泵、前級管路、爐體等幾部分組成，真空爐的生產中為常見問題是極限壓力合格，而升壓率不合格，或者是兩者都不合格，比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格。

1. 極限壓力合格，升壓率不合格

極限壓力合格說明設備沒有明顯漏點，且真空系統的抽氣性能正常。升壓率不合格，主要原因是從粗抽閥到爐體有一些較小的漏點，通常在1×10-9~9.9×10-4Pa·m3/s之間。檢漏步驟為：

①用力按壓氣袋從粗抽閥開始向爐體方向噴吹氦氣，遍針頭移動的速度可以快些，對設備的全部焊口、法蘭連接、動密封、熱電偶連接等處進行檢漏，在焊口不規整及法蘭連接縫隙不均勻處將噴吹移動速度放緩并進行細致檢查。

②不按壓氣袋，用針頭緩慢地對位置進行檢查，漏孔會吸入針頭中存有的少量氦氣，觀測檢漏儀屏幕漏率值噴吹過程中的變化，找到漏率大且上升快的點即是漏點。

③向各個加熱電極、爐體水套等通水腔體內噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進行包裹罩封，然后向罩中噴入氦氣，觀察檢漏儀的漏率變化，如果緩慢上升，說明被包裹的位置存在漏點。

檢漏技術的發展

檢漏技術在真空領域占有非常重要的地位，它關系到真空設備的各項真空指標。如何快速地找到漏點，關系到企業的生產效率與經營成本。

檢漏技術是一門不斷發展、不斷完善的技術，多年來，人們創造了很多檢漏方法。

上世紀四十年代以前的技術非常簡單，比如氣泡法、電離計法等。當時，漏率高只能檢測到10^-7Pa·m^3/s。

后來，經過不斷的完善與提高，在1950~1960年代，研制者朝著提高靈敏度的方向努力，使靈敏度一度達到了10^-15Pa·m^3/s。

然而實踐證明，單一追求高靈敏度并非合適，這會給檢漏儀的生產制造帶來一些麻煩。后來，人們將精力主要放在了儀器的穩定性、可靠性、小型化、簡單化、檢漏過程迅速化上面。

當今常見的氦質譜檢漏儀，靈敏度在10^-9~10^-13Pa·m^3/s。較為先進的檢漏儀壓力在幾萬Pa就可檢漏。便攜式的檢漏儀，一個人就可以搬運。甚至有些檢漏儀已經可以通過手機APP遠程控制檢測。

這些技術上的進步，使檢漏工作的效率和便利性得到很大提升，應用氦質譜檢漏儀已經成為檢漏技術中的主要方法。